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全球领导性的半导体设备元件供应厂商Swagelok日前宣布,推出Swagelok® DRP系列超高纯度铁弗龙隔膜阀,可精确地控制流体,落实继续符合或超越超高纯度聚合系统元件SEMI Standard F57-0301标准的承诺。DRP系列产品最新的架构应用相当广泛,包括:具侵蚀性的CMP半流体、酸性、化学及超高纯度DI水配送系统。
DRP系列阀门独特的设计,可以协助将危险区域缩减到最小规模,并有效的提升隔膜效能,其半球形的阀门本体及独特的隔膜形状,更能快速且彻底的清洁所有潮湿的表面。而经过修正的PTFE隔膜形状,在最佳化后,可将循环过程中的压力减到最低,且有利于持久性、封装的完整及创造较长的使用寿命。此外,隔膜的厚度也试图增加到最高,试图降低酸性物质渗透的可能性。
DRP系列阀门也提供聚
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